靶材为什要测量密度？秒准靶材密度计的优势在哪里？
靶材本身的致密度，靶材的致密度很高时，不易吸附，无空隙，背靶易脱落。
为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
靶材在生产制造的过程中需要对其密度进行测试，采用的方法是阿基米德原理，仪器自动计算出靶材密度g/cm3。目前生产的测试采用人工对靶材进行测量，由于靶材重量大，操作不便，不利于手动计算测试密度。因此需要一种专用密度仪进行操作。因此解决这一问题就显得十分必要。
如何测量靶材的密度？
陶瓷靶材密度测试仪MAY-AE10应用于各种靶材材料。按材质分类可分为金属靶材(纯金属铝、钛、铜、钽等)、合金靶材(镍铬合金、镍钴合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按应用领域分类靶材可分为半导体芯片靶材、平板显示靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材等等都可以测密度。
原理：根据ASTM B311、B328；MPIF 42、57；JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738。可适用于煮沸法、真空饱和法量测，采用阿基米德原理浮力法，准确直读量测数值。
秒准靶材密度计经过市场10几年的验证以及不断的研发升级，现已具备以下特点：
1、数显直读，无需人工计算，直接显示密度和体积等参数。
2、全彩7寸触摸屏操作，自带打印功能，可编辑带公司名称物料编码的数据报告。
3、采用梅特勒原装进口传感器，测量精准、操作简便、稳定耐用。
4、具有实际水温补偿功能，可适应测试环境变化。
5、可设定媒介液密度，使用水作介质，也可使用其它液体介质。
6、采用SUS304一体水槽，耐腐蚀耐摔，底部设计静音万向轮，便于移动。
7、含USB通信接口，方便与电脑连接。
8、内置静音排水系统，方便换水。
功能描述：
1、直接读取靶材工件的密度和体积。
特别备注：秒准靶材密度计支持非标定制，已经为多家用户实现自动化密度测试仪非标定制，搭配机械手/吊机，自动完成密度测试，自动输出数据。
技术参数：
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品牌
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MAYZUM（保修期：三年）
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型号
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MAY-AE10
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MAY-AE30
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MAY-AE50
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MAY-AE80
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最大称重
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0.1g-10kg
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0.1g-30kg
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0.5g-50kg
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2g-80kg
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密度精度
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0.001 g/cm3
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密度范围
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0.001~99.999g/cm3
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水槽尺寸
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水槽尺寸：1.2*1*1.2m（长宽高），依据客户工件尺寸定制最终尺寸
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测量时间
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约5秒
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测量步骤
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放水中吊篮上，按保存键密度和体积直接显示，并打印数据报告。
多孔材料、粉末测试步骤依据国标请参考随机说明书
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结果显示
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参数设定
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水温设定、媒介液体密度设定
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校正方式
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一键自动校正
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输出方式
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RS-232C标准通信接口、方便测试数据输出与打印
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温湿度范围
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允许环境温度：0~45℃；允许相对湿度：80%以内
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电 源
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AC~220V / 50HZ（出口电源需定制，订货前提前注明即可）
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操作面板
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7寸触摸屏
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标准配件
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①主机一台、②测量组件一套、③电源变压器一个、④打印纸1卷
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